Электролитические и оптические методы контроля РЭСИ

  • Добавили07.07.2009
  • Размер4490,82 Kб
  • Скачали60

дефектов - происходит прямое деко¬рирование, которое менее полезно, чем обратное, так как дефекты оказыва¬ются закрытыми осадком. При противоположных знаках зарядов частиц и диэлектрической пленки, частицы осаждаются всюду, кроме дефектов и окружающих их областей. Та¬кой процесс называется обратным декорированием.

Недостатком метода явля¬ется необходимость работы с высокими напряжениями и необходимость тща¬тельной очистки поверхности пластины. Рисунок 5 – Схема процесса осаждения заряженных частиц на заряженную подложку а) прямое декорирование; б) обратное декорирование Сравнительная оценка параметров электрохимических методов обнаруже¬ния дефектов в слоях двуокиси кремния представлена в таблице 1. Таблица 1 Сравнительные характеристики параметров электрохимических ме¬тодов контроля Название метода Чувствительность, мкм Разрешающая способность, мкм Электролиз (пузырьковый) 0,3 40-60 Электрография: а) Цветные реакции 0,5 2-5 б) На фотобумаге 0,1 - 0,3 200 - 300 Электрофорез 0,1 - 0,3 10-30 Декорирование с помо¬щью коронного разряда 1 -5 Оптический контроль Оптические методы неразрушающего контроля основаны на анализе взаимо¬действия оптического излучения с объектом контроля.

Методы оп¬тического контроля и области их применения приведены в ГОСТ 23479-79 и ГОСТ 24521-80. Спектр оптических излучений подразделяется по длине волны на три уча¬стка: инфракрасное излучение (от 1 мм до 780 нм), видимое излучение (от 780 нм до 380 нм) и ультрафиолетовое излучение (от 380 нм до 10 нм). Разрешающая способность оптических методов: где А – коэффициент преломления среды (материала между наблюдаемым объектом и линзами); λ – длина волны.

2α – максимальный угол при вершине конуса лучей, попадающих в точку изображения на оптической оси; D – числовая апертура линз объектива; F – фокусное расстояние;.

Скачать
Курсовая Радиоэлектроника 07.07.2009

Электромагнитные и тепловые методы контроля РЭСИ

«Электромагнитные и тепловые методы контроля РЭСИ» Минск, 2008 Электромагнитные методы Электромагнитные методы неразрушающего контроля основаны на анализе взаимодействия электромагнитного поля вихретокового преобразователя с электромагнитным полем вихревых токов, наводимых в контролируемом объекте.

Реферат 08.09.2009

Оптические методы НК. Прямой контроль в оптической (световой) микроскопии

Белорусский Государственный Университет Информатики И Радиоэлектроники Кафедра ЭТТ Реферат На тему «Оптические методы НК. Прямой контроль в оптической (световой) микроскопии» Минск, 2008 Оптические методы НК Оптический диапазон спектра, по определению,

Книга 04.09.2009

Коронный разряд

Коронный разряд Коронный разряд - это явление, связанное с ионизацией воздуха в электрическом поле с высокой напряженностью (свечение газов в неоднородном электрическом поле высокой напряжённости). Области с высокой напряженностью часто образуются вследствие

5ballov.qip.ru рекомендует:

  • Выбор ВУЗа

    С приходом лета начался период, когда выпускники школ выбирают куда пойдут учиться дальше. Конечно, это совсем не легкий выбор, но помочь в выборе может рейтинг вузов на нашем сайте. Также в этом разделе представлена вся нужная для абитуриентов информация.

  • Как сдать ЕГЭ

    Прежде, чем идти в выбранный вуз с документами, нужно сначала получить аттестат, который выдается после сдачи экзаменов. А подготовиться к ним можно в нашем разделе ЕГЭ. Там также представлены варианты за прошлые года.

  • Подготовка к ГИА

    Для девятиклассников не менее важно окончание учебного года. Их также ждет государственная итоговая аттестация. Подготовиться к ней можно на нашем сайте в разделе ГИА. Главное помнить: самоподготовка - это путь к успешной сдаче.

Облако тегов