Электролитические и оптические методы контроля РЭСИ

  • Добавили07.07.2009
  • Размер4490,82 Kб
  • Скачали60

4 – мембранная бумага; 5 – катод. Рисунок 2 – Испытательная ячейка для электрофореза 1 – исследуемая структура; 2 – электрододержатель; 3 – электролит; 4 – второй электрод (катод). Рисунок 3 – Зависимость плотности дефектов от толщины слоя SiO2 Этот характер кривой можно объяснить дополнительным выявлением сквозных дислокаций через тонкую пленку окисла.

При более толстом слое окисла d = 0,04 мкм эффект сквозных дислокаций ослабевает, выявляются только несквозные дефекты. При толщинах более 0,08 мкм выявляются де¬фекты, образованные в результате осаждения пленок. Как видно из рис.

4 плотность пор, выявленная методом электролиза (нижняя кривая), много меньше плотности дефектов, выявленных электрофорезным декорированием (верхняя кривая), в связи с тем, что электролиз не способен выявить "скры¬тые дефекты" и выявляет только сквозные поры. Электрофорез позволяет об¬наруживать следующие виды дефектов: сквозные и несквозные поры окисла, скопления примесей вблизи поверхности. Декорирование с помощью коронного разряда.

Этот метод является модификацией электрофорезного декорирования. На первом этапе процесса ионы коронного разряда осаждаются на поверхность образца и заряжают диэлектрические участки пленки. Этот заряд создает электрическое поле.

Источником положительно заряженных ионов служит проволочная сетка, подсоединенная к высоковольтному источнику постоян¬ного тока, обеспечивающему напряжение до ±10 кВ и ток до 6 мА. Сетка рас¬полагается в 2 см над пластиной. Рисунок 4 – Зависимость плотности дефектов от приложенного напряжения для методов 1 – электрофореза; 2 – электролиза.

На втором этапе образец погружается в суспензию, состоящую из заряжен¬ных частиц. При совпадении знаков зарядов осаждаемых частиц и диэлектрической пленки осаждение частиц идет в местах .

Скачать
Курсовая Радиоэлектроника 07.07.2009

Электромагнитные и тепловые методы контроля РЭСИ

«Электромагнитные и тепловые методы контроля РЭСИ» Минск, 2008 Электромагнитные методы Электромагнитные методы неразрушающего контроля основаны на анализе взаимодействия электромагнитного поля вихретокового преобразователя с электромагнитным полем вихревых токов, наводимых в контролируемом объекте.

Реферат 08.09.2009

Оптические методы НК. Прямой контроль в оптической (световой) микроскопии

Белорусский Государственный Университет Информатики И Радиоэлектроники Кафедра ЭТТ Реферат На тему «Оптические методы НК. Прямой контроль в оптической (световой) микроскопии» Минск, 2008 Оптические методы НК Оптический диапазон спектра, по определению,

Книга 04.09.2009

Коронный разряд

Коронный разряд Коронный разряд - это явление, связанное с ионизацией воздуха в электрическом поле с высокой напряженностью (свечение газов в неоднородном электрическом поле высокой напряжённости). Области с высокой напряженностью часто образуются вследствие

5ballov.qip.ru рекомендует:

  • Выбор ВУЗа

    С приходом лета начался период, когда выпускники школ выбирают куда пойдут учиться дальше. Конечно, это совсем не легкий выбор, но помочь в выборе может рейтинг вузов на нашем сайте. Также в этом разделе представлена вся нужная для абитуриентов информация.

  • Как сдать ЕГЭ

    Прежде, чем идти в выбранный вуз с документами, нужно сначала получить аттестат, который выдается после сдачи экзаменов. А подготовиться к ним можно в нашем разделе ЕГЭ. Там также представлены варианты за прошлые года.

  • Подготовка к ГИА

    Для девятиклассников не менее важно окончание учебного года. Их также ждет государственная итоговая аттестация. Подготовиться к ней можно на нашем сайте в разделе ГИА. Главное помнить: самоподготовка - это путь к успешной сдаче.

Облако тегов