Радиоволновые, радиационные методы контроля РЭСИ. Методы электронной микроскопии

  • Добавили26.06.2009
  • Размер8240,07 Kб
  • Скачали167

на топографический и на кон¬ траст, связанный с неоднородностью состава материала образца. Режим наведенного (индуцированного электронно-лучевого тока). Электронный луч с большой энергией фокусируется на маленькой площади микросхемы и проникает через несколько слоев ее структуры, в результате в полупроводнике генерируются электронно-дырочные пары.

Схема включения образца представлена на (рис. 2, в). При соответствующих внешних напряжениях, приложенных к ИМС, измеряются токи обусловленные вновь рожденны¬ми носителями заряда.

Этот метод позволяет: - определить периметр р-n перехода. Форма периметра оказывает влияние на пробивные напряжения и токи утечки. Первичный электронный луч (2) (рис.

3 и 4) движется по поверхности образца (1) в направлениях х, и в зависимости от направления перемещения меняется значение индуцированного тока в р-n переходе. По фотографиям р-n перехода можно определить искажения периметра р-n перехода (рис. 5).

- определить места локального пробоя р-n перехода. При образовании локального пробоя р-n перехода в месте пробоя образуется лавинное умножение носителей тока (рис. 6) Если первичный пучок электронов (1) попадает в эту область (3), то генерированные первичными электронами электронно-дырочные пары также умножаются в р-n переходе, в результате чего в данной точке будет зафиксировано увеличение сигнала и соответственно появление светлого пятна на изображении.

Изменяя обратное смещение на р-n переходе, можно выявить момент образования пробоя, а проведя выявление структурных дефектов например с помощью селективного травления или с ПЭМ, можно сопоставить область пробоя с тем или иным дефектом. Рисунок 3 – Схема прохождения электронного луча Рисунок 4 – Изображение торцевого р-п-перехода с целью определения его периметра 1 – торцевой р-n переход; 2 – электронный луч; 3 – область генерации электронно-дырочных пар. Рисунок 4 – Изображение планарного р-п-перехода с целью определения его периметра 1 - планарный р-n переход; 2 - электронный луч; 3 - область генерации электронно-дырочных пар.

Скачать
Курсовая 28.12.1999

Электрон в слое

Микрочастица электрон в слое. Собственно говоря, одномерная задача, которая сейчас будет рассмотрена, во многих учебных руководствах довольно подробно разобрана путм введения некоторых упрощений. Она состоит в следующем Микрочастица электрон движется

Реферат 16.04.2003

Микроскоп

На протяжении длительного времени человек жил в окруженииневидимых существ, использовал продукты их жизнедеятельности например, привыпечке хлеба из кислого теста, приготовлении вина и уксуса , страдал, когдаэти существа являлись причинами болезней или

Реферат 25.01.2002

Радиационно-опасные объекты

Экологическая катастрофа Данное словосочетание страшное даже или особенно для обывательского сознания. И всеже специалисты оказываются или наиболее чувствительными, или наиболее толстокожими, оперирующими цифрами о катастрофах и катаклизмах с таким спокойствием

5ballov.qip.ru рекомендует:

  • Выбор ВУЗа

    С приходом лета начался период, когда выпускники школ выбирают куда пойдут учиться дальше. Конечно, это совсем не легкий выбор, но помочь в выборе может рейтинг вузов на нашем сайте. Также в этом разделе представлена вся нужная для абитуриентов информация.

  • Как сдать ЕГЭ

    Прежде, чем идти в выбранный вуз с документами, нужно сначала получить аттестат, который выдается после сдачи экзаменов. А подготовиться к ним можно в нашем разделе ЕГЭ. Там также представлены варианты за прошлые года.

  • Подготовка к ГИА

    Для девятиклассников не менее важно окончание учебного года. Их также ждет государственная итоговая аттестация. Подготовиться к ней можно на нашем сайте в разделе ГИА. Главное помнить: самоподготовка - это путь к успешной сдаче.

Последние запросы


детская субкультура в художественной литературе закон как основной источник права план конспект развитие скоростной выносливости бегунов на средние дистанции работа учреждений образования и здравоохранения с детьми раннего возраста я и мои социальные роли Информатика в жизни общества концепт чёрта в русском языке и культуре Волейбол на Украине Отчет по учебной практике по управлению персоналом в фгуп почта россии государственная тайна на предприятиях оборонно промышленного комплекса герой поэмы без героя проблемы разоружения в конце 20-21 века ирак факультет Финансы и кредит закон понятие массовые средства безопасности юридическая риторика техногенное воздействие на окружающую среду от предприятий черной и цветной металлургии фото пифагора реферат на тему Травматизм и проф заболевания Россия и запад прошлое и настоящее

Облако тегов