Радиоволновые, радиационные методы контроля РЭСИ. Методы электронной микроскопии

  • Добавили26.06.2009
  • Размер8240,07 Kб
  • Скачали167

нм. ПЭМ позволяет определить: формы и размеры дислокаций, толщину образцов и профиль пленок. В настоящее время существуют ПЭ микроскопы до 3 МэВ.

Сканирующая электронная микроскопия (СЭМ). Изображение формируется как за счет вторичных электронов, так и за счет отраженных электронов (рис. 2).

Вторичные электроны позволяют определить химический состав образца, а отраженные – морфологию его поверхности. При подаче отрицательного потенциала - 50 В происходит запирание малоэнергетичных вторичных электронов и изображение на экране становится контрастным, поскольку грани, расположенные под отрицательным углом к детектору, не про¬сматриваются вообще. Если на сетку детектора подать положительный потенци¬ал (+250 В), то вторичные электроны собираются с поверхности всего образца, что смягчает контрастность изображения.

Метод позволяет получить информа¬цию о: - топологии исследуемой поверхности; - геометрическом рельефе; - структуре исследуемой поверхности; - коэффициенте вторичной эмиссии; - об изменении проводимости; - о местоположении и высоте потенциальных барьеров; - о распределении потенциала по поверхности и в поверхности (за счет заряда по поверхности при облучении электронами) при попадании сканирующего луча на поверхность полупроводниковых приборов в ней наводятся токи и напряжения, которые изменяют траектории вторичных электронов. Элементы ИМС с положительным потенциалом по сравнению с участками, имеющими более низкий потенциал, выглядят темными. Это обуславливается наличием замедляющих по¬ лей над участками образца с положительным потенциалом, которые приводят к уменьшению сигнала вторичных электронов.

Потенциально-контрастные измерения дают только качественные результаты из-за того, что замедляющие поля зависят не только от геометрии и напряжения пятна, но и от распределения напряжения по всей поверхности образца; - большого разброса скоростей вторичных электронов; - потенциальный контраст накладывается .

Скачать
Курсовая 28.12.1999

Электрон в слое

Микрочастица электрон в слое. Собственно говоря, одномерная задача, которая сейчас будет рассмотрена, во многих учебных руководствах довольно подробно разобрана путм введения некоторых упрощений. Она состоит в следующем Микрочастица электрон движется

Реферат 16.04.2003

Микроскоп

На протяжении длительного времени человек жил в окруженииневидимых существ, использовал продукты их жизнедеятельности например, привыпечке хлеба из кислого теста, приготовлении вина и уксуса , страдал, когдаэти существа являлись причинами болезней или

Реферат 25.01.2002

Радиационно-опасные объекты

Экологическая катастрофа Данное словосочетание страшное даже или особенно для обывательского сознания. И всеже специалисты оказываются или наиболее чувствительными, или наиболее толстокожими, оперирующими цифрами о катастрофах и катаклизмах с таким спокойствием

5ballov.qip.ru рекомендует:

  • Выбор ВУЗа

    С приходом лета начался период, когда выпускники школ выбирают куда пойдут учиться дальше. Конечно, это совсем не легкий выбор, но помочь в выборе может рейтинг вузов на нашем сайте. Также в этом разделе представлена вся нужная для абитуриентов информация.

  • Как сдать ЕГЭ

    Прежде, чем идти в выбранный вуз с документами, нужно сначала получить аттестат, который выдается после сдачи экзаменов. А подготовиться к ним можно в нашем разделе ЕГЭ. Там также представлены варианты за прошлые года.

  • Подготовка к ГИА

    Для девятиклассников не менее важно окончание учебного года. Их также ждет государственная итоговая аттестация. Подготовиться к ней можно на нашем сайте в разделе ГИА. Главное помнить: самоподготовка - это путь к успешной сдаче.

Последние запросы


Ультразвук и его использование в технике и медицине совершенствование управления персоналом теплопередача и растительный мир станислав лем Правовое Положение Индивидуального Предпринимателя значение техногенных революций факторы риска в работе медицинской сестры Достоинства и недостатки совершенной конкуренции организация финансового менеджмента на предприятии Ремонт и обслуживание системы пуска ДВС классификация подъемно транспортного оборудования янгель васка де гама первооткрыватель индии Анализ влияния когнитивных ошибок на качество жизни в концепции АБека 18 Техническое обслуживание и ремонт шлифовальных станков питание в гостинице дипломная работа Жан Бати история развития и возникновения Стереометрии учет труда и заработной платы Модернизация локальной вычислительной сети на предприятии

Облако тегов