Проектирование КР1095 ПП1

  • Добавили25.06.2009
  • Размер1186,9 Kб
  • Скачали45

Для уменьшения удельного сопротивления поликремниевых участков затвора осуществляется их легирование примесью бора или фосфора в зависимости от типа проводимости в канале. Такое легирование проводится одновременно с формированием областей стоков и истоков транзисторов. На рис.

3 показано поочередное нанесение слоев SiO2 из кремнийорганических соединений (n- и p – SiO2) с последующим формированием областей стоков и истоков МДП – транзисторов обоих типов проводимости. Как видно из этого рисунка, в процессе формирования этих областей в качестве маски используются участки поликремния, выполняющие роль затворов МДП – транзисторов. В результате обеспечивается самосовмещение границ затвора и областей стока и истока.

Отметим, что использование алюминия в качестве затвора и маски для обеспечения самосовмещения оказывается невозможным, т. к. его температура плавления ниже температуры легирования кремния примесями на стадии разгонки.

Кроме уменьшения емкости перекрытия рассмотренная технология обеспечивает еще один положительный эффект. Поскольку здесь затвор и подложка оказываются выполненными из одного материала, контактная разность потенциалов между указанными элементами становится равной нулю, что приводит к уменьшению порогового напряжения до 1 2В вместо обычных 2,5…3В. На заключительном этапе (аналогично КМДП ИС с алюминиевым затвором) через предварительно протравленные химическим путем (методом фотолитографии) окна, на пластины с помощью напыления наносится слой металлизации, после фотолитографической обработки которого формируются контактные площадки и межсоединения, функционально связывающие КМДП – структуры в ту или иную конкретную ИС.

Пластины со сформированными на них таким образом КМДП ИС подвергаются общей защите от внешних загрязнений и механических повреждений пиролитическим окислом. После этой операции для обеспечения доступа к алюминиевым контактным площадкам в соответствующих местах .

Скачать
Реферат 10.02.2010

Проектирование цифрового фильтра

Содержание 1. Проектирование цифрового фильтра. 1.1. Исходные данные. 1.2. Определение номиналов элементов фильтра. 1.3. Синтез цифрового аналога. 2. Проэктирование цифрового фильтра. 2.1. Общие сведения. 2.2. Графический редактор принципиальных схем PC-CAPS.

Реферат 10.02.2010

Проектирование цифрового фильтра

Содержание 1. Проектирование цифрового фильтра. 1.1. Исходные данные. 1.2. Определение номиналов элементов фильтра. 1.3. Синтез цифрового аналога. 2. Проэктирование цифрового фильтра. 2.1. Общие сведения. 2.2. Графический редактор принципиальных схем PC-CAPS.

Реферат 25.01.2002

Монокристаллический кремний

Основной объем монокристаллическогокремния 80-90 потребляемого электронной промышленно-стью,выращиваеться по методу Чохральского.Фактическивесь кремний,используемый для произво-дстваинтегральных схем,производиться этим методом.Кристаллы выращенные этим

Реферат 23.12.1998

Исследование работы реверсивных счетчиков

Лабораторная Работа З Исследование Реверсивного Счетчика 1. ЦЕЛЬ Работы Целью работы является - теоретическое изучение принципа работы счетчиков и регистров - экспериментальное исследование счетчика-регистра на интегральных микросхемах. 2. Основные Теоретические

5ballov.qip.ru рекомендует:

  • Выбор ВУЗа

    С приходом лета начался период, когда выпускники школ выбирают куда пойдут учиться дальше. Конечно, это совсем не легкий выбор, но помочь в выборе может рейтинг вузов на нашем сайте. Также в этом разделе представлена вся нужная для абитуриентов информация.

  • Как сдать ЕГЭ

    Прежде, чем идти в выбранный вуз с документами, нужно сначала получить аттестат, который выдается после сдачи экзаменов. А подготовиться к ним можно в нашем разделе ЕГЭ. Там также представлены варианты за прошлые года.

  • Подготовка к ГИА

    Для девятиклассников не менее важно окончание учебного года. Их также ждет государственная итоговая аттестация. Подготовиться к ней можно на нашем сайте в разделе ГИА. Главное помнить: самоподготовка - это путь к успешной сдаче.

Облако тегов