Поняття про мікроелектроніку

  • Добавили24.06.2009
  • Размер111,44 Kб
  • Скачали45

У спрощеному вигляді послідовність операцій планарної технології для виготовлення біполярного npn-транзистора показана на рис. 7. 1.

Вихідним матеріалом є пластинка з донорно-легованного кремнію товщиною в частки міліметру. Поверхня пластинки окислюється, на ній вирощується тонкий захисний шар оксиду кремнію Sі02 (рис. 7.

1а). У захисному шарі протравлюється отвір ("вікно"), крізь яке шляхом дифузії з газової або парової фази у приповерхневий шар кремнію вводиться акцепторний домішок, внаслідок чого під "вікном" утворюється дірково-провідна область (рис. 7.

1б). Далі цей процес повторюється і в приповерхневий шар кремнію вводиться донорний домішок, котрий створює нову сильнолеговану область (рис. 7.

1в). В результаті в напівпровіднику утворюється характерна для біполярного транзистора тришарова npn структура, де n-провідна пластина служить колектором, верхня n+-область – емітером, а проміжний p-шар – базою. Повторним окисленням поверхня пластинки кремнію знову вкривається шаром оксиду Sі02, в якому навпроти колектора, бази та емітера протравлюються невеликі отвори.

В ці отвори напилюється метал (звичайно алюміній), який створює контактні площинки, що є відповідно виводами колектора, бази та емітера транзистора (рис. 7. 1г).

Найбільш тонким і відповідальним процесом планарної технології є створення "вікон". Для цього застосовується метод фотолітографії. Суть його така.

Поверхня оксиду кремнію вкривається фоторезистом – речовиною, яка здатна полімеризуватися під дією ультрафіолетового світла. Далі на фоторезист накладається фотошаблон – прозора платівка з нанесеним на неї зображенням, темні місця якого відповідають розташуванню майбутніх вікон . Крізь фотошаблон фоторезист опромінюється ультрафіолетовим світлом від кварцової лампи.

У засвічених місцях фоторезист полімеризується, а там, куди ультрафіолет не потрапив, він потім легко .

Скачать
Курсовая Менеджмент 12.12.2008

Управління знаннями як інструмент створення і використання нових знань в організації

Управління знаннями як інструмент створення і використання нових знань в організації. ПЛАН Вступ 3 РОЗДІЛ 1. Теоретична Частина 5 1.1. Поняття управління знаннями 5 1.2. Технології управління знаннями 10 1.3. Розробка систем управління знаннями 13 1.4.

Курсовая Радиоэлектроника 02.07.2009

Тенденції розвитку інформаційного суспільства: міжнародні та українські особливості

Тенденції розвитку інформаційного суспільства міжнародні та українські особливості Київ-2007 План Вступ 1. Парадигма побудови інформаційного суспільства. Концепції основних понять. Особливі риси та ознаки інформаційного суспільства та їх аналіз. Інформаційні

Курсовая Международные отношения 23.03.2009

Світова організація торгівлі. Форми передачі технології

Зміст 1. Світова організація торгівлі, її роль у МЕВ. 2. Форми передачі технології. 3. Особливості функціонування офшорних зон. 4. Південний спільний ринок (Меркосур). 5. Проблеми розвитку зовнішньоекономічної діяльності України. Список використаних джерел.

Реферат Информатика 09.06.2009

Виконання операцій множення і ділення у двійковій системі числення

Реферат на тему ”Виконання ОперацІЙ Множення І ДІЛення В ДВІЙКОВІЙ СистемІ ЧИСЛення ” Виконання ОперацІЙ Множення І ДІЛення В ДВІЙКОВІЙ СистемІ ЧИСЛення 1. ЗагальнІ ВІДомостІ ПРО ОперацІЮ Множення У програмах розв язання різних задач операції множення

5ballov.qip.ru рекомендует:

  • Выбор ВУЗа

    С приходом лета начался период, когда выпускники школ выбирают куда пойдут учиться дальше. Конечно, это совсем не легкий выбор, но помочь в выборе может рейтинг вузов на нашем сайте. Также в этом разделе представлена вся нужная для абитуриентов информация.

  • Как сдать ЕГЭ

    Прежде, чем идти в выбранный вуз с документами, нужно сначала получить аттестат, который выдается после сдачи экзаменов. А подготовиться к ним можно в нашем разделе ЕГЭ. Там также представлены варианты за прошлые года.

  • Подготовка к ГИА

    Для девятиклассников не менее важно окончание учебного года. Их также ждет государственная итоговая аттестация. Подготовиться к ней можно на нашем сайте в разделе ГИА. Главное помнить: самоподготовка - это путь к успешной сдаче.

Облако тегов