Микроинтерферометрия для контроля и оценки трехмерных дефектов

  • Добавили18.06.2009
  • Размер1449,36 Kб
  • Скачали43

Если в пределах одного и того же порядка интерференции плёнка изменяет свою толщину на h, то длина волны л, соответствующая максимуму отражения, сместится на , т. е. 2n2(h+h) = p(+) .

Из этих выражений следует, что / = h/h . Ощущаемый глазом цветовой интервал соответствует в среднем 30 нм. Тогда для зелёного цвета (=550 нм) получим h/h=30/550=0.

054, т. е. визуальный цветовой метод контроля толщины может иметь относительное разрешение по толщине порядка 5 %.

В таблице 1 приводится зависимость цвета термически выращенной плёнки SiO2 от её толщины. При изменении технологии наращивания плёнки цветовая толщина должна быть экспериментально перепроверена и при необходимости откорректирована. Этот же метод применяется и для контроля плёнок фоторезиста.

Табл. 1 Голографическая интерферометрия. Современная технология МЭ требует тщательного контроля геометрических параметров изделий как непосредственно в процессе их изготовления, так и после (на стадии выходного контроля).

Размерному контролю подвергаются и заготовки будущих изделий. При этом необходимо контролировать размеры и форму изделий, выявлять наиболее нагруженные участки на изделии во время их обработки или эксплуатации, приводящие к механическим деформациям, определять возникающие в них внутренние дефекты. При решении подобных задач нежелательно (или невозможно) расчленять изделие или даже касаться его какими-либо щупами или шаблонами.

Эта задача должна решаться с использованием методов бесконтактного (неразрушающего) контроля изделий. Одними из таких методов является голография и голографическая интерферометрия. Голографические измерения по принципу действия являются многоступенчатым процессом: вначале регистрируется голограмма объекта, затем восстанавливается его изображение, а количественная информация получается в результате обработки полученного изображения.

Способ регистрации и последующего восстановления изображения объекта основан на интерференции двух волн: волны отражённой или прошедшей через изделие (предметной .

Скачать
Реферат 28.12.1999

Свет - электромагнитная волна. Скорость света. Интерференция света. Стоячие волны

и список литературы.Свет электромагнитная волна 2Скоростьсвета 2Интерференциясвета .3Стоячиеволны 31. Физика 11 Г.Я.Мякишев Б.Б.Ьуховцев 2. Физика 10 Н.М.Шахмаев С.Н.Шахмаев 3. Опорные конспекты и тестовые задания Г.Д.Луппов 1 Латинское слово корпускула в переводе на русский язык означает частица.

Реферат 29.01.2003

Лазерные методы диагностики. Термография

Оглавление Лазерные Методы Диагностики Оптические Квантовые Генераторы Основные Направления И ЦЕЛИ Медико-Биологического Использования Лазеров. Лазерная Диагностика В Офтальмологии Ангиография Диагностические Возможности Голографии Термография Биофизические Аспекты Тепловидения.

Курсовая 25.01.2002

Полупроводниковые пластины

Современные полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы представляют собой чрезвычайно сложные устройства, отдельные компоненты которых имеют размеры не более доли микрометра. Изготовление таких устройств осуществляется на монокристаллических

5ballov.qip.ru рекомендует:

  • Выбор ВУЗа

    С приходом лета начался период, когда выпускники школ выбирают куда пойдут учиться дальше. Конечно, это совсем не легкий выбор, но помочь в выборе может рейтинг вузов на нашем сайте. Также в этом разделе представлена вся нужная для абитуриентов информация.

  • Как сдать ЕГЭ

    Прежде, чем идти в выбранный вуз с документами, нужно сначала получить аттестат, который выдается после сдачи экзаменов. А подготовиться к ним можно в нашем разделе ЕГЭ. Там также представлены варианты за прошлые года.

  • Подготовка к ГИА

    Для девятиклассников не менее важно окончание учебного года. Их также ждет государственная итоговая аттестация. Подготовиться к ней можно на нашем сайте в разделе ГИА. Главное помнить: самоподготовка - это путь к успешной сдаче.

Облако тегов