Микроинтерферометрия для контроля и оценки трехмерных дефектов

  • Добавили18.06.2009
  • Размер1449,36 Kб
  • Скачали43

зависимости I=f(t), будет соответствовать разность хода лучей I1 и I2, на которой укладывается половина длины волны используемого монохроматического излучения. Отсчитывая временной интервал от начала процесса и зная длину волны источника излучения и показатель преломления n2, по кривой I=f(t) можно регистрировать текущее значение толщины наносимой на подложку плёнки. Рис.

6. Оптическая схема лазерного интерференционного прибора для контроля толщины диэлектрических плёнок: 1 - лазер; 2 - оптическое окно; 3 - трубчатый реактор; 4 - зеркало; 5 - пластина; 6 - ВЧ-индуктор; 7 - графитовый нагреватель; 8 – фотоприёмник Рис. 7.

Интенсивность излучения, отражённого от кремниевой пластины в ходе наращивания плёнки Si3N4 t1 - начало наращивания; t2 - окончание наращивания; t - временной интервал, соответствующий шагу /4n2 Визуальный цветовой метод контроля. Цветовой метод контроля основан на свойстве тонких прозрачных плёнок, нанесённых на отражающую подложку, изменять свой цвет в зависимости от толщины. В основе этого свойства лежит интерференция световых лучей, отражённых от границы раздела «окружающая среда-плёнка» и «плёнка-подложка», усиливающая световые лучи определенного цвета и гасящая лучи света другого цвета.

Данный метод нашёл широкое применение в микроэлектронном производстве благодаря простоте и оперативности контроля. Особенно эффективным цветовой метод является в условиях массового производства при известном технологическом режиме наращивания плёнки. Контроль производится на воздухе после изъятия полупроводниковых пластин из технологической камеры при воспроизводимых условиях освещения и наблюдения.

Условие существования интерференционных максимумов в отражённом свете, определяющих цвет пластин с плёнкой, будет следующим: 2hn2 = p , где p = 1,2,3 и т. д порядок интерференции.

Скачать
Реферат 28.12.1999

Свет - электромагнитная волна. Скорость света. Интерференция света. Стоячие волны

и список литературы.Свет электромагнитная волна 2Скоростьсвета 2Интерференциясвета .3Стоячиеволны 31. Физика 11 Г.Я.Мякишев Б.Б.Ьуховцев 2. Физика 10 Н.М.Шахмаев С.Н.Шахмаев 3. Опорные конспекты и тестовые задания Г.Д.Луппов 1 Латинское слово корпускула в переводе на русский язык означает частица.

Реферат 29.01.2003

Лазерные методы диагностики. Термография

Оглавление Лазерные Методы Диагностики Оптические Квантовые Генераторы Основные Направления И ЦЕЛИ Медико-Биологического Использования Лазеров. Лазерная Диагностика В Офтальмологии Ангиография Диагностические Возможности Голографии Термография Биофизические Аспекты Тепловидения.

Курсовая 25.01.2002

Полупроводниковые пластины

Современные полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы представляют собой чрезвычайно сложные устройства, отдельные компоненты которых имеют размеры не более доли микрометра. Изготовление таких устройств осуществляется на монокристаллических

5ballov.qip.ru рекомендует:

  • Выбор ВУЗа

    С приходом лета начался период, когда выпускники школ выбирают куда пойдут учиться дальше. Конечно, это совсем не легкий выбор, но помочь в выборе может рейтинг вузов на нашем сайте. Также в этом разделе представлена вся нужная для абитуриентов информация.

  • Как сдать ЕГЭ

    Прежде, чем идти в выбранный вуз с документами, нужно сначала получить аттестат, который выдается после сдачи экзаменов. А подготовиться к ним можно в нашем разделе ЕГЭ. Там также представлены варианты за прошлые года.

  • Подготовка к ГИА

    Для девятиклассников не менее важно окончание учебного года. Их также ждет государственная итоговая аттестация. Подготовиться к ней можно на нашем сайте в разделе ГИА. Главное помнить: самоподготовка - это путь к успешной сдаче.

Облако тегов