Микроинтерферометрия для контроля и оценки трехмерных дефектов

  • Добавили18.06.2009
  • Размер1449,36 Kб
  • Скачали43

указанных процессов являются неконтактные оптические способы измерений, использующие явление интерференции в плёнке: метод отражательной интерференции с автоматическим отсчётом толщины плёнки и с визуальным цветовым контролем. Метод отражательной интерференции основан на регистрации интерференции отраженных от подложки с пленкой когерентных лучей света с известной длиной волны и определении толщины наносимой пленки по интенсивности суммарного светового потока. Он заключается в следующем.

На поверхность подложки с плёнкой направляется луч света от монохроматического источника (обычно лазера). На поверхности раздела «окружающая среда - плёнка - подложка» луч претерпевает отражение и преломление (рис. 5).

Отражённый от поверхности плёнки луч I1 и вышедший из неё луч I2 имеют оптическую разность хода, пропорциональную удвоенной толщине контролируемой плёнки S = n2(AD+DC) - n1BC ~ 2h . При нормальном падении луча I0 S = 2hn2 . Для первого гашения выходного пучка света в результате интерференции лучей I1 и I2 необходимо условие S = /2 , откуда можно определить толщину плёнки: h = /4n2 .

Рис. 5. Ход лучей в системе «плёнка-подложка» при измерении толщины плёнки Это лежит в основе принципа действия лазерного интерференционного прибора для контроля толщины диэлектрических плёнок в процессе их нанесения (рис.

6). Суммарный оптический сигнал после интерференции этих лучей в процессе роста плёнки будет иметь осциллирующую форму (рис. 7).

Этот сигнал регистрируется и преобразуется в электрический с помощью фотоприёмника. Процесс наращивания диэлектрического слоя контролируют по зависимости I=f(t), которая регистрируется либо самописцем, либо графическим дисплеем с памятью. Толщине наносимой плёнки, соответствующей расстоянию между двумя экстремальными точками экспериментальной .

Скачать
Реферат 28.12.1999

Свет - электромагнитная волна. Скорость света. Интерференция света. Стоячие волны

и список литературы.Свет электромагнитная волна 2Скоростьсвета 2Интерференциясвета .3Стоячиеволны 31. Физика 11 Г.Я.Мякишев Б.Б.Ьуховцев 2. Физика 10 Н.М.Шахмаев С.Н.Шахмаев 3. Опорные конспекты и тестовые задания Г.Д.Луппов 1 Латинское слово корпускула в переводе на русский язык означает частица.

Реферат 29.01.2003

Лазерные методы диагностики. Термография

Оглавление Лазерные Методы Диагностики Оптические Квантовые Генераторы Основные Направления И ЦЕЛИ Медико-Биологического Использования Лазеров. Лазерная Диагностика В Офтальмологии Ангиография Диагностические Возможности Голографии Термография Биофизические Аспекты Тепловидения.

Курсовая 25.01.2002

Полупроводниковые пластины

Современные полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы представляют собой чрезвычайно сложные устройства, отдельные компоненты которых имеют размеры не более доли микрометра. Изготовление таких устройств осуществляется на монокристаллических

5ballov.qip.ru рекомендует:

  • Выбор ВУЗа

    С приходом лета начался период, когда выпускники школ выбирают куда пойдут учиться дальше. Конечно, это совсем не легкий выбор, но помочь в выборе может рейтинг вузов на нашем сайте. Также в этом разделе представлена вся нужная для абитуриентов информация.

  • Как сдать ЕГЭ

    Прежде, чем идти в выбранный вуз с документами, нужно сначала получить аттестат, который выдается после сдачи экзаменов. А подготовиться к ним можно в нашем разделе ЕГЭ. Там также представлены варианты за прошлые года.

  • Подготовка к ГИА

    Для девятиклассников не менее важно окончание учебного года. Их также ждет государственная итоговая аттестация. Подготовиться к ней можно на нашем сайте в разделе ГИА. Главное помнить: самоподготовка - это путь к успешной сдаче.

Облако тегов