Микроинтерферометрия для контроля и оценки трехмерных дефектов

  • Добавили18.06.2009
  • Размер1449,36 Kб
  • Скачали43

8-10 - окуляр; 11 - наблюдаемая интерферограмма Интерференционным способом производится измерение неплоскостности стеклянных пластин фотошаблонов. Этому способствует высокая чистота поверхности стекол, позволяющая получить чёткую интерференционную картину. Этим способом исследуется поверхность полированных полупроводниковых пластин.

Для этого используют призменный интерферометр, изображённый на рис. 2. С его помощью может быть измерена неплоскостность (прогиб) пластин и некоторые поверхностные дефекты.

Рис. 2. Схема призменного интерферометра: 1 - полупроводниковая пластина; 2 - стеклянная призма; 3 - экран (матовое стекло); 4 - лазер; 5,6 - коллиматор; 7 - регулировочный винт; 8 - вакуумный прижимной столик Интерференционная картина выводится на телевизионный экран (рис.

3). Отклонение определяется по числу интерференционных полос (колец) на экране телевизионного интерферометра (рис. 4).

Рис. 3. Интерферограммы на экране телевизионного интерферометра Рис.

4. Внешний вид цифрового телевизионного интерферометра Zygo Mark II Контроль толщины диэлектрических плёнок интерференционными методами. В технологии производства ИС для ЭА и СМЭ на основе кремния операция термического окисления стоит на первом месте в цепи технологических операций по созданию топологического рисунка.

Далее в ходе изготовления ИС эта операция повторяется несколько раз. Толщина слоя диэлектрика редко превышает 1 мкм и обычно находится в пределах 0,1-0,6 мкм. Учитывая задачу контроля толщины, следует отметить, что стабилизация скорости термических процессов осаждения плёнок технически сложна, и если возможна, то при наличии сигнала обратной связи, информирующего о наращиваемой толщине.

С учётом высоких температур и кислородной среды наиболее перспективными для .

Скачать
Реферат 28.12.1999

Свет - электромагнитная волна. Скорость света. Интерференция света. Стоячие волны

и список литературы.Свет электромагнитная волна 2Скоростьсвета 2Интерференциясвета .3Стоячиеволны 31. Физика 11 Г.Я.Мякишев Б.Б.Ьуховцев 2. Физика 10 Н.М.Шахмаев С.Н.Шахмаев 3. Опорные конспекты и тестовые задания Г.Д.Луппов 1 Латинское слово корпускула в переводе на русский язык означает частица.

Реферат 29.01.2003

Лазерные методы диагностики. Термография

Оглавление Лазерные Методы Диагностики Оптические Квантовые Генераторы Основные Направления И ЦЕЛИ Медико-Биологического Использования Лазеров. Лазерная Диагностика В Офтальмологии Ангиография Диагностические Возможности Голографии Термография Биофизические Аспекты Тепловидения.

Курсовая 25.01.2002

Полупроводниковые пластины

Современные полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы представляют собой чрезвычайно сложные устройства, отдельные компоненты которых имеют размеры не более доли микрометра. Изготовление таких устройств осуществляется на монокристаллических

5ballov.qip.ru рекомендует:

  • Выбор ВУЗа

    С приходом лета начался период, когда выпускники школ выбирают куда пойдут учиться дальше. Конечно, это совсем не легкий выбор, но помочь в выборе может рейтинг вузов на нашем сайте. Также в этом разделе представлена вся нужная для абитуриентов информация.

  • Как сдать ЕГЭ

    Прежде, чем идти в выбранный вуз с документами, нужно сначала получить аттестат, который выдается после сдачи экзаменов. А подготовиться к ним можно в нашем разделе ЕГЭ. Там также представлены варианты за прошлые года.

  • Подготовка к ГИА

    Для девятиклассников не менее важно окончание учебного года. Их также ждет государственная итоговая аттестация. Подготовиться к ней можно на нашем сайте в разделе ГИА. Главное помнить: самоподготовка - это путь к успешной сдаче.

Последние запросы


редкие ресурсы доиндустриальной экономики ресурсы музеев литосферы информационное обеспечение населения о состоянии обращения с опасными отходами план эвакуации людей при пожаре в предприятии контрольная классификация затрат рабочего времени производственных рабочих теория автоматического управления Анализ текучести кадров учет расчетов по взносам в фсс рф автотехническая экспертиза Качество аэс Адаптация лиц с ограниченными физическими возможностями в современной информационной среде альтернативные виды топлив гетсби Прокурорский надзор за исполнением законодательства о правах граждан редкие ресурсы с доиндустриальной индустриальной постиндустриальной экономике руды в воронеже Астраханское восстание Особенности воспитания и обучения детей с ринолалией требование при выборе методов обучения

Облако тегов