Микроинтерферометрия для контроля и оценки трехмерных дефектов

  • Добавили18.06.2009
  • Размер1449,36 Kб
  • Скачали43

«Микроинтерферометрия для контроля и оценки трехмерных дефектов» МИНСК, 2008 Для контроля рельефа поверхности и оценки размера трёхмерных дефектов на поверхности наиболее пригодны методы интерферометрии. Основным прибором, использующим интерферометрический принцип при измерениях высоты, глубины, профиля элементов микроструктур и толщины плёнок, является широко известный микроинтерферометр Линника МИИ-4 (рис. 1), принцип действия которого основан на сравнении световых волн, получаемых при отражении когерентных пучков света от контролируемой и эталонной поверхностей.

Свет от источника 1 проходит через конденсор 2 и диафрагму 3. Зеркало 4 делит его на два когерентных пучка, один из которых фокусируется объективом 5 на эталонное зеркало 6, а другой объективом 5' на контролируемую поверхность 7. После отражения от эталона и изделия пучки проходят через те же элементы схемы и фокусируются линзой 8 в плоскости диафрагмы 9, в которой с помощью окуляра 10 наблюдают интерференционную картину 11 взаимодействия эталонного и рабочего пучков света.

При этом наблюдают чередующиеся светлые и тёмные полосы интерференции, искривлённые в соответствии с профилем исследуемой поверхности. Кривизну полос измеряют, например, с помощью окуляр-микрометра. Она является количественной характеристикой микронеоднородностей поверхности изделия: искривление на одно расстояние между одноцветными полосками соответствует глубине или высоте дефекта, равной одному периоду световых колебаний или в линейном размере  - длине волны используемого света.

Рис. 1. Оптическая схема микроинтерферометра Линника: 1 - осветитель; 2 - конденсор; 3,9 - диафрагмы; 4 – светоделительное полупрозрачное зеркало; 5,5 микрообъективы; 6 - эталонное зеркало; 7 - исследуемая поверхность;.

Скачать
Реферат 28.12.1999

Свет - электромагнитная волна. Скорость света. Интерференция света. Стоячие волны

и список литературы.Свет электромагнитная волна 2Скоростьсвета 2Интерференциясвета .3Стоячиеволны 31. Физика 11 Г.Я.Мякишев Б.Б.Ьуховцев 2. Физика 10 Н.М.Шахмаев С.Н.Шахмаев 3. Опорные конспекты и тестовые задания Г.Д.Луппов 1 Латинское слово корпускула в переводе на русский язык означает частица.

Реферат 29.01.2003

Лазерные методы диагностики. Термография

Оглавление Лазерные Методы Диагностики Оптические Квантовые Генераторы Основные Направления И ЦЕЛИ Медико-Биологического Использования Лазеров. Лазерная Диагностика В Офтальмологии Ангиография Диагностические Возможности Голографии Термография Биофизические Аспекты Тепловидения.

Курсовая 25.01.2002

Полупроводниковые пластины

Современные полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы представляют собой чрезвычайно сложные устройства, отдельные компоненты которых имеют размеры не более доли микрометра. Изготовление таких устройств осуществляется на монокристаллических

5ballov.qip.ru рекомендует:

  • Выбор ВУЗа

    С приходом лета начался период, когда выпускники школ выбирают куда пойдут учиться дальше. Конечно, это совсем не легкий выбор, но помочь в выборе может рейтинг вузов на нашем сайте. Также в этом разделе представлена вся нужная для абитуриентов информация.

  • Как сдать ЕГЭ

    Прежде, чем идти в выбранный вуз с документами, нужно сначала получить аттестат, который выдается после сдачи экзаменов. А подготовиться к ним можно в нашем разделе ЕГЭ. Там также представлены варианты за прошлые года.

  • Подготовка к ГИА

    Для девятиклассников не менее важно окончание учебного года. Их также ждет государственная итоговая аттестация. Подготовиться к ней можно на нашем сайте в разделе ГИА. Главное помнить: самоподготовка - это путь к успешной сдаче.

Облако тегов