Кремний, полученный с использованием "геттерирования" расплава

  • Добавили24.12.1998
  • Размер143,41 Kб
  • Скачали946

Кремний, полученный с использованием геттерирования расплава . В бездефектной технологии изготовления ИС для уменьшения влияния термодефектов используются методы пассивного геттерирования примесей в пластинах. К таким методам относятся внешнее геттсрирование - нанесение внешних покрытий поликремния, Si N, переходных металлов или механических повреждений на нерабочую сторону кремниевой пластины и внутреннее геттерирование намеренное обеспечение путем термообработок выделений второй фазы Si0 на которых адсорбируются микродефекты, примеси тяжелых и щелочных металлов.

Однако в результате таких воздействий на пластины ухудшаются механические свойства, что особенно заметно на подложках диаметром 100 и более миллиметров. Процесс образования геттерирующей зоны происходит в несколько стадий, при этом самая высокая температура термообработки ТО не превышает lOOOC, в то время как многоступенчатая технология изготовления ИС включает более высокотемпературные операции, например диффузию, эпитаксию. Известно, что при температурах выше 1000С кислород из выделений вновь переходит в состояние твердого раствора, и при последующих термоциклах 430-500 и 600-8000 опять появляются доноры, разрушаются комплексы примесей и микродефектов, что, в свою очередь, приводит к нарушению термостабильности, снижению выхода годных, увеличению отказов.

Активное воздействие на дефекты и примеси предполагает легирование монокристаллов в процессе их выращивания добавками, оказывающими влияние на свойства, состав расплава и твердого тела. При этом легирующий компонент должен удовлетворять следующим требованиям коэффициент распределения, значительно отличающийся от единицы эффективное изменение коэффициента распределения удаляемых примесей отсутствие вредного влияния атомов геттера на свойства полупроводника. Использование в качестве геттера водорода, предложенное .

Скачать
Реферат 23.04.2009

Кремний

выдающийся шведский химик и минералог Якоб Берцелиус сумел в двух реакциях выделить не очень чистый кремний. Это был аморфный серый порошок. Для этого он восстановил калием газообразный тетрафторид кремния SiF4. Новый элемент был назван силицием (от латинского silex – камень).

Курсовая 23.12.1998

Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании

Каждое вещество может находится в состоянии которое характеризуется содержанием примеси в нем ниже некоторого определенного предела. Предел определяется различными условиями связанными со свойствами, областью применения веществ. Для полупроводниковых

Контрольная 22.04.2009

Изобарно-изотермический потенциал

9. Определить изменение изобарно-изотермического потенциала реакции N2(г) 2Н2О(ж) NH4NO2 (ж) и дать заключение о направлении ее протекания при стандартных условиях, если для Н2О(ж) равна – 237,4 кДж моль, а для NH4NO2(ж) равна – 115,8 кДж моль. Решение.

5ballov.qip.ru рекомендует:

  • Выбор ВУЗа

    С приходом лета начался период, когда выпускники школ выбирают куда пойдут учиться дальше. Конечно, это совсем не легкий выбор, но помочь в выборе может рейтинг вузов на нашем сайте. Также в этом разделе представлена вся нужная для абитуриентов информация.

  • Как сдать ЕГЭ

    Прежде, чем идти в выбранный вуз с документами, нужно сначала получить аттестат, который выдается после сдачи экзаменов. А подготовиться к ним можно в нашем разделе ЕГЭ. Там также представлены варианты за прошлые года.

  • Подготовка к ГИА

    Для девятиклассников не менее важно окончание учебного года. Их также ждет государственная итоговая аттестация. Подготовиться к ней можно на нашем сайте в разделе ГИА. Главное помнить: самоподготовка - это путь к успешной сдаче.

Последние запросы


новообразование кожи применение математики в клинических и лабораторных исследованиях Снижение стоимости строительства расчет хозяйственной деятельности предприятия хозяйственную деятельность предприятия генератор переменного тока бразилия как рынок для инвестирования человек венец природы Особенности воспитания и обучения детей с ринолалией длинная арифметика общественно-политическое развитие россии в 1860-1880 краткий конспект Особенности совместного конструирования детей старшего дошкольного возраста фон для портретов скачать Пути и методы повышения качества и интенсификации учебно-методического процесса изучения предмета бухгалтерский учет эссе о компании кому не знакомы особая тишина музея интересный рассказ экскурсовода а к толстой сравнительная характеристика политики Хрущева и Брежнева введите название рефератасистемы заземления сельхоз институт

Облако тегов