Технология производства К56ИЕ10 и серии м/с К426 и К224
- Добавили24.12.1998
- Размер55,98 Kб
- Скачали537
3. 13 Промыть пластины в ванне с горячей деионизованной водой в течении 1-2 минут. 3.
14 Перенести кассету с пластинами из промежуточной ванны в ванну каскадной промывки. 3. 15 Проводить отмывку пластин в деионизованной воде в первой и во второй ваннах каскада в течении 2-3 минут в каждой ванне.
В третьей ванне каскада выдержать до снижения сопротивления сливной воды 3 Момсм по прибору контроля сопротивления деионизованной воды. 3. 16 Перенести кассету с пластинами на сушку пластин по ТВО 734 618 ТАК КАК по окончании отмывки пластин.
3. 17 Передать обработанные пластины в кассете на следующую операцию, заполнив сопроводительный лист. 3.
18 Отключить по окончании работы нагреватели ванн, поставив тумблер блока управления НАГРЕВАТЕЛЬ в нижнее положение. 3. 19 Слить серную кислоту и смесь Каро из рабочих ванн, открыв кран слива и предварительно охладив их до 80-50 0С.
Перед сливом серной кислоты добавить в ванну 200 мл перекиси водорода. 3. 20 Промыть рабочие ванны, находящиеся в них решетки и нагреватели, деионизованной водой из шланга.
3. 21 Закрыть вентили слива и закрыть рабочие ванны крышками. 3.
22 Протереть стол установки, крышки ванн салфеткой из мадаполама. 3. 23 Отключить технологический блок.
Проводить отмывку оснастки и ванн установки не реже одного раза в неделю. Разрешается одновременно обрабатывать по две кассеты с пластинами. КОНТРОЛЬ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ КРИСТАЛЛА Оборудование система измерительная Н2001 Интеграл зонд измерительный ОМ6010 Алгоритм программы разбраковки Алгоритм программы разбраковки кристаллов 564ИЕ10 приведен в табл.
4. Рис. 3.
Табл. 3. наименование элементов структурыусловное обозначениетип пр-тиматериал слоя наименование ГОСТ, ОСТ, ТУсопротивление слоя sОмтолщина слоя, глубина диффузии мкмзащитный слойН1-SiO2 термический 0.
40. 05диффузионный карман n-канальнх транзисторовН2pтрехфтористый борОСТ 6-02-4-83750-150091. 5защитный слойН3-SiO2 термический 0.
30. 05области стока, истокаН4pтрехфтористый борОСТ 6-02-4-831101. 70.
5защитный слойН5-SiO2 термический 0. 40. 05области стока, истокаН6nфосфор-хлор окисьТУ-09-3537-854020.
5защитный слойН7-SiO2 термический 0. 350. 05диэлектрик .
Скачать
