Технология производства К56ИЕ10 и серии м/с К426 и К224

  • Добавили24.12.1998
  • Размер55,98 Kб
  • Скачали531
Сколько стоит заказать работу?

Формирование областей сток- исток р-канальных транзисторов и р-охраны. 11. Ионное легирование.

Бор 2 . Сток- исток. Установка Везувий-3М.

12. Снятие фоторезиста. Плазма и смесь Каро.

13. Химическая обработка. 14.

Разгонка бора. Сток- исток. Температура 1000ОС, О2пар.

15. Третья фотолитография. Формирование областей сток- истока n-канальных транзисторов и n-охраны.

16. Химическая обработка. 17.

Загонка фосфора диффузионный метод. Температура 900ОС. Диффузант POCl18.

Снятие фосфорселикатного стекла. HF H2O 19. Разгонка фосфора.

Температура 1000ОС. О2пар. 4Я фотолитография.

Вскрытие областей под затвор и контактные окна. 21. Окисление 2 подзатворный диэлектрик.

Температура 1000ОС. О2HCl. 22.

Стабилизация фосфора. Температура 900ОС. Диффузант POCl23.

Подлегирование. 24. Отжиг подзатворного диэлектрика.

5Я фотолитография. Вскрытие контактных окон. 26.

Химическая обработка. 27. Напыление AlSi.

Установка Магна 2М. 6Я фотолитография. Формирование алюминиевой разводки.

29. Вжигание алюминия. Температура 475ОС в азоте.

30. Нанесение защитного окисла. Температура 400ОС.

SiH4O2. Установка Аксин. 7Я фотолитография.

Вскрытие контактных площадок. 8Я фотолитография. Защита пластин фоторезистом.

33. Контроль ВАХ пробивное напряжение, пороговое напряжение, прямое напряжение и др 34. Контроль электрических параметров.

35. Контроль внешнего вида. ОПЕРАЦИЯ СПЕЦОКИСЛЕНИЕ Оборудование.

система диффузионная см табл. 1 стол монтажный СМ-4 А2МО 238 001 ТУ реактор кварцевый 07-0397 реактор кварцевый 07-0541 крючок кварцевый 09-1067 лодочка кварцевая 09-1216 подставка 09-1215 стаканчик СВ2470 ГОСТ 25 336-82 пинцет ПС 160х3. 0 ТУ 64-1-37-78 пинцет 09-1114 часы электрические вторичные показывающие ВЧС2-М2ПВ-400-323К ТУ 25-67-1503-82 пластина кремния 7590592 10300 00022 пластина кремния спутник 7590592 10300 00022 водород хлористый сжиженный марки Э ТУ 6-01-4689387-42-90 спирт этиловый ректификованный технический марки Экстра ГОСТ 18300-87 кислород СТП ТВО 054 003-89 азот СТП ТВО 054 003-89 напальчники типа II вида Б4 ТУ 38.

106567-88 салфетка из мадаполама 350х253 мм 7590592 10301 00043 .

Скачать
Реферат 06.07.2009

Фотолитография

5. I информация о заводе. 6. «Преобразователь. 7. Вывод. Условные обозначения ФШ – фотошаблон. ФЛ – фотолитография. ФР – фоторезистор. Задание на проект Цель работы изучить суть процесса литографии. Объект изучения пластины кремния. Вывод в процессе изучения

Реферат 09.10.2009

Инструкция по газовым баллонам

ПО Оборудованию Легковых Автомобилей Газобаллонной Аппаратурой Содержание Газовое топливо Устройство газобаллонной аппаратуры Регулировка газовой аппаратуры Работа газовой аппаратуры и устранение неисправностей Советы бывалых Эксплуатация газобаллонной аппаратуры.

Реферат 25.01.2002

Контроль при производстве интегральных микросхем

При изготовлении интегральных схем очень важным является контроль технологических процессов. Хорошо организованный контроль обеспечивает высокий прицент выхода годной продукции. Успешный контроль изготовления интегральных микросхем в основном зависит

5ballov.qip.ru рекомендует:

  • Выбор ВУЗа

    С приходом лета начался период, когда выпускники школ выбирают куда пойдут учиться дальше. Конечно, это совсем не легкий выбор, но помочь в выборе может рейтинг вузов на нашем сайте. Также в этом разделе представлена вся нужная для абитуриентов информация.

  • Как сдать ЕГЭ

    Прежде, чем идти в выбранный вуз с документами, нужно сначала получить аттестат, который выдается после сдачи экзаменов. А подготовиться к ним можно в нашем разделе ЕГЭ. Там также представлены варианты за прошлые года.

  • Подготовка к ГИА

    Для девятиклассников не менее важно окончание учебного года. Их также ждет государственная итоговая аттестация. Подготовиться к ней можно на нашем сайте в разделе ГИА. Главное помнить: самоподготовка - это путь к успешной сдаче.

Последние запросы


кубанское казачье войско воздушная линия электро передачий завод металлоконструкций новые технологии впк и их значение для гражданского производства культура центральной Азии в 17-18 организация отдела коммуникаций политический режим его типы правовое государство понятие и признаки поступление на госслужбу значенией физической активности для профилактики заболевани Понятие страхового фонда понятие страхового фонда страховое право реферат актуальность магнитного поезда оливер твист трансформация политической системы в постсоветской россии принудительные работы федеральная резервная система сша необходимость управления движением капитала в рыночной экономике курсовая работа на тему кадры предприятия теплопередача в природе и технике реферат трансформация политической системы в постсоветской россии

Облако тегов