Жидкостное химическое травление

  • Добавили01.05.1996
  • Размер126,98 Kб
  • Скачали747
Сколько стоит заказать работу?

AZ-1350. Некачественно травление Al обусловлено несколькими факторами 1 недопроявленный резист 2 неравномерность толщины 3 напряжения в пленках поверх ступенек 4 гальваническое ускорение травления из-за наличия преципитатов Al-Cu 5 неравномерность толщины окисла 6 нестабильность температуры 1оС. Эти факторы приводят к перетравливанию и закорачиванию.

Хром является вторым после алюминия металлом, наиболее часто подвергающимся травлению. Он широко используется при изготовлении фотошаблонов. В качестве травителя используется сульфат церияHNO3.

Вследствие индукционного эффекта формирования верхнего слоя Cr2O3 травление пленки нелинейно, и поэтому момент окончания травления не может быть определен по ее начальной толщине. Электрохимическое травление. Прикладывая потенциал к металлу, покрытому резистной маской, можно перенести рисунок в материал в более мягких травителях, чем при травлении в химически равновесных условиях.

Платина, например, обычно травится в горячей царской водке HClHNO3, которая снимает большинство резистов. Подавая потенциал 1. 0 В, можно травить платину в разбавленной HСl.

В технологии предпочтительнее электрохимические процессы, так как для них точнее определяется момент завершения травления рис. 18, их легко автоматизировать, применяя оборудование для электроосаждения. Подложки являлись анодом в ячейке, к которой прикладывалось напряжение рис.

18. Ток ячейки быстро Рис. 18.

Автоматизация определения окончания процесса путем контроля тока I при электро-химическом травлении. поднимается до пикового значения вслед-ствие поляризации электролита и затем снижается до стационарного значения Iо. Окончание травления сопровождается фиксированным процентным .

Скачать
Реферат Химия 16.06.2009

Классификация физико-химических методов обработки и очистки. Плазменные методы удаления материала...

«Классификация физико-химических методов обработки и очистки. Плазменные методы удаления материала с поверхности твердого тела» Минск, 2008 В соответствии с применяемыми средствами очистку делят на жидкостную и сухую. Жидкостная очистка выполняется органическими

Реферат Радиоэлектроника 02.07.2009

Технология изготовления СВЧ на ККБ "Искра"

Высокая надежность, устойчивость к разнообразным воздействиям, хорошая воспроизводимость параметров и низкая стоимость при массовом производстве, малые масса и габаритные размеры при требуемых электрических характеристиках. Возможность практически полной

Курсовая Металлургия 05.06.2007

Ковка металлов

Министерство Образования Российской Федерации Шуйский Государственный Педагогический Университет Кафедра Технологии Курсовая Работа ТЕМА Художественная Ковка Металлов . Выполнил Студент 4к. 4гр. МТФ-ФТО Кочетков А.Ю. Научный Руковводитель ШУЯ 2004. План.

Курсовая Физика 25.01.2002

Полупроводниковые пластины

Современные полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы представляют собой чрезвычайно сложные устройства, отдельные компоненты которых имеют размеры не более доли микрометра. Изготовление таких устройств осуществляется на монокристаллических

5ballov.qip.ru рекомендует:

  • Выбор ВУЗа

    С приходом лета начался период, когда выпускники школ выбирают куда пойдут учиться дальше. Конечно, это совсем не легкий выбор, но помочь в выборе может рейтинг вузов на нашем сайте. Также в этом разделе представлена вся нужная для абитуриентов информация.

  • Как сдать ЕГЭ

    Прежде, чем идти в выбранный вуз с документами, нужно сначала получить аттестат, который выдается после сдачи экзаменов. А подготовиться к ним можно в нашем разделе ЕГЭ. Там также представлены варианты за прошлые года.

  • Подготовка к ГИА

    Для девятиклассников не менее важно окончание учебного года. Их также ждет государственная итоговая аттестация. Подготовиться к ней можно на нашем сайте в разделе ГИА. Главное помнить: самоподготовка - это путь к успешной сдаче.

Последние запросы


натуристы реферат актуальность магнитного поезда Политическое и экономико-географическое положение Австралии Деньги и их функцииОсновные денежные агрегаты Субъект и объект управления в системе государственного и муниципального управления Корреляционные методы макро-и микро элементы Управление запасами товарно-материальных ценностей буддизм на востоке в средние века великие математические гении правовые основы обеспечения транспортной безопасности Мотив блудного сына в романе АЖида Фальшивомонетчики плавают обороты ауди 80 экологическое право беларуси среда обитания и среды жизни сходства и различия google ответственность человека острая сосудистая недостаточность правители внутренняя и внешняя палитика нвентаризация основной метод учета контроля и аудита имущества и обязательств основных принципов

Облако тегов