Жидкостное химическое травление

  • Добавили01.05.1996
  • Размер126,98 Kб
  • Скачали747
Сколько стоит заказать работу?

8. Таблица 8. Металлы и окислители.

Металл Окислитель Металл Окислитель Al Zn Cr Ni F2 H2O2 MnO4- Cr2O72- Sn Cu Ag Au Br2 HNO3 Fe2 I2 Жидкостное травление Al изотропно и сопровождается уходом края профиля травления рис. 1 на 1-2 мкм. Воспроизводимость размеров при травлении партии пластин составляет 1 мкм.

Структуры обычно перетравлены, так как металлические пленки содержат дефекты - зерна, преципитаты, а также подвержены напряжениям. Металлы при контакте друг с другом изменяют свой электрохимический потенциал см. формулу 38 гальванический эффект, что ускоряет их собственное травление и ведет к сильному подтравливанию нижележащего металлического слоя.

Например, слой Al в NaOH стравливается сам по себе за 7 мин. При контакте с PtAu его травление оканчивается через 1 мин. Травители для алюминия.

Травление алюминия проводится в щелочной или кислотной среде. Широко применяется травитель, состоящий из концентрированной H3PO4 76, ледяной уксусной кислоты 15, концентрированной азотной кислоты 3 и воды 5 по объему. Согласно исследованиям, процесс состоит из двух стадий - формирования Al3 и образования AlPO4, контролируемых скоростями соответствующих реакций Al2O3 медленно Al -3еHNO3 Al3 быстро быстро Пленка медленно Растворимый AlPO4.

40 Вода в фосфорной кислоте препятствует растворению Al2O3, но она способствует растворению вторичного продукта AlPO4. Сила тока пропорциональна скорости травления. Если ток приложен к алюминию, то отмечается анизотропия травления.

Энергия активации травления Al в H3PO4HNO3 равна 13. 2 ккалмоль, что предполагает ограничение процесса скоростью растворения Al2O3 в H3PO4. Выделяемый газ есть смесь Н2, NO и NO2.

Адсорбция газов на поверхности Al является постоянной проблемой при использовании вязких травителей. Пузырьки способны замедлять травление - под ними образуются островки недотравленного металла, которые могут замыкать близко расположенные проводники.

Скачать
Реферат Химия 16.06.2009

Классификация физико-химических методов обработки и очистки. Плазменные методы удаления материала...

«Классификация физико-химических методов обработки и очистки. Плазменные методы удаления материала с поверхности твердого тела» Минск, 2008 В соответствии с применяемыми средствами очистку делят на жидкостную и сухую. Жидкостная очистка выполняется органическими

Реферат Радиоэлектроника 02.07.2009

Технология изготовления СВЧ на ККБ "Искра"

Высокая надежность, устойчивость к разнообразным воздействиям, хорошая воспроизводимость параметров и низкая стоимость при массовом производстве, малые масса и габаритные размеры при требуемых электрических характеристиках. Возможность практически полной

Курсовая Металлургия 05.06.2007

Ковка металлов

Министерство Образования Российской Федерации Шуйский Государственный Педагогический Университет Кафедра Технологии Курсовая Работа ТЕМА Художественная Ковка Металлов . Выполнил Студент 4к. 4гр. МТФ-ФТО Кочетков А.Ю. Научный Руковводитель ШУЯ 2004. План.

Курсовая Физика 25.01.2002

Полупроводниковые пластины

Современные полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы представляют собой чрезвычайно сложные устройства, отдельные компоненты которых имеют размеры не более доли микрометра. Изготовление таких устройств осуществляется на монокристаллических

5ballov.qip.ru рекомендует:

  • Выбор ВУЗа

    С приходом лета начался период, когда выпускники школ выбирают куда пойдут учиться дальше. Конечно, это совсем не легкий выбор, но помочь в выборе может рейтинг вузов на нашем сайте. Также в этом разделе представлена вся нужная для абитуриентов информация.

  • Как сдать ЕГЭ

    Прежде, чем идти в выбранный вуз с документами, нужно сначала получить аттестат, который выдается после сдачи экзаменов. А подготовиться к ним можно в нашем разделе ЕГЭ. Там также представлены варианты за прошлые года.

  • Подготовка к ГИА

    Для девятиклассников не менее важно окончание учебного года. Их также ждет государственная итоговая аттестация. Подготовиться к ней можно на нашем сайте в разделе ГИА. Главное помнить: самоподготовка - это путь к успешной сдаче.

Последние запросы


различные взгляды на проблему окружающей среды Биохимия Аеробні фіксатори азоту Лекция как основная форма организации учебного процесса в вузе введиособенности проектирования объектов имеющих историко культурное и художественное значениете название реферата Исторические формы брака режим пиночета в чили вклад отечественных мыслителей писателей и поэтов 15-20 веков в формирование традиционных идеалов и ценностей белорусского Ответственность ученых за судьбы мира В консерватизме мудрость природы Секреты мироздания острый герпетический стоматит социальные функции естествознания Сущность и предмет философских проблем естествознания обработка наружных цилиндрических поверхностей Нефинансовые активы Развитие электронного обучения в Нидерландах добавить сайт Татаро-монгольское нашествие усилительный каскад с общим истоком

Облако тегов