Жидкостное химическое травление

  • Добавили01.05.1996
  • Размер126,98 Kб
  • Скачали747
Сколько стоит заказать работу?

8. Таблица 8. Металлы и окислители.

Металл Окислитель Металл Окислитель Al Zn Cr Ni F2 H2O2 MnO4- Cr2O72- Sn Cu Ag Au Br2 HNO3 Fe2 I2 Жидкостное травление Al изотропно и сопровождается уходом края профиля травления рис. 1 на 1-2 мкм. Воспроизводимость размеров при травлении партии пластин составляет 1 мкм.

Структуры обычно перетравлены, так как металлические пленки содержат дефекты - зерна, преципитаты, а также подвержены напряжениям. Металлы при контакте друг с другом изменяют свой электрохимический потенциал см. формулу 38 гальванический эффект, что ускоряет их собственное травление и ведет к сильному подтравливанию нижележащего металлического слоя.

Например, слой Al в NaOH стравливается сам по себе за 7 мин. При контакте с PtAu его травление оканчивается через 1 мин. Травители для алюминия.

Травление алюминия проводится в щелочной или кислотной среде. Широко применяется травитель, состоящий из концентрированной H3PO4 76, ледяной уксусной кислоты 15, концентрированной азотной кислоты 3 и воды 5 по объему. Согласно исследованиям, процесс состоит из двух стадий - формирования Al3 и образования AlPO4, контролируемых скоростями соответствующих реакций Al2O3 медленно Al -3еHNO3 Al3 быстро быстро Пленка медленно Растворимый AlPO4.

40 Вода в фосфорной кислоте препятствует растворению Al2O3, но она способствует растворению вторичного продукта AlPO4. Сила тока пропорциональна скорости травления. Если ток приложен к алюминию, то отмечается анизотропия травления.

Энергия активации травления Al в H3PO4HNO3 равна 13. 2 ккалмоль, что предполагает ограничение процесса скоростью растворения Al2O3 в H3PO4. Выделяемый газ есть смесь Н2, NO и NO2.

Адсорбция газов на поверхности Al является постоянной проблемой при использовании вязких травителей. Пузырьки способны замедлять травление - под ними образуются островки недотравленного металла, которые могут замыкать близко расположенные проводники.

Скачать
Реферат Химия 16.06.2009

Классификация физико-химических методов обработки и очистки. Плазменные методы удаления материала...

«Классификация физико-химических методов обработки и очистки. Плазменные методы удаления материала с поверхности твердого тела» Минск, 2008 В соответствии с применяемыми средствами очистку делят на жидкостную и сухую. Жидкостная очистка выполняется органическими

Реферат Радиоэлектроника 02.07.2009

Технология изготовления СВЧ на ККБ "Искра"

Высокая надежность, устойчивость к разнообразным воздействиям, хорошая воспроизводимость параметров и низкая стоимость при массовом производстве, малые масса и габаритные размеры при требуемых электрических характеристиках. Возможность практически полной

Курсовая Металлургия 05.06.2007

Ковка металлов

Министерство Образования Российской Федерации Шуйский Государственный Педагогический Университет Кафедра Технологии Курсовая Работа ТЕМА Художественная Ковка Металлов . Выполнил Студент 4к. 4гр. МТФ-ФТО Кочетков А.Ю. Научный Руковводитель ШУЯ 2004. План.

Курсовая Физика 25.01.2002

Полупроводниковые пластины

Современные полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы представляют собой чрезвычайно сложные устройства, отдельные компоненты которых имеют размеры не более доли микрометра. Изготовление таких устройств осуществляется на монокристаллических

5ballov.qip.ru рекомендует:

  • Выбор ВУЗа

    С приходом лета начался период, когда выпускники школ выбирают куда пойдут учиться дальше. Конечно, это совсем не легкий выбор, но помочь в выборе может рейтинг вузов на нашем сайте. Также в этом разделе представлена вся нужная для абитуриентов информация.

  • Как сдать ЕГЭ

    Прежде, чем идти в выбранный вуз с документами, нужно сначала получить аттестат, который выдается после сдачи экзаменов. А подготовиться к ним можно в нашем разделе ЕГЭ. Там также представлены варианты за прошлые года.

  • Подготовка к ГИА

    Для девятиклассников не менее важно окончание учебного года. Их также ждет государственная итоговая аттестация. Подготовиться к ней можно на нашем сайте в разделе ГИА. Главное помнить: самоподготовка - это путь к успешной сдаче.

Последние запросы


Основные механические характеристики материалов Новые технологии обучения обществознания подходы корпоративной социальной ответственности доставка хлебобулочных изделий выездные курсы факультета повышения квалификации владивостокскогого мед университета правосубъектность юридических лиц гражданское право сестринский процесс при переломе ребер Дошкольное образование за рубежом управление доходами предприятия курсовая работа История как наука Понятие коммуникации виды функции Духовная эволюция Наташи Ростовой война и мир История света от угольной лампочки до высоких световых технологий Антонин Дворжак биография Организация работы по улучшению условий труда в управляющей жилищной компании гаджет для боковой панели сайт одноклассники газоснабжение Блидман Соотношение знаний и мудрости Танаис

Облако тегов